謄展精密科技(深圳)有限公司
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發布時間: 2019 - 08 - 19
一字體UVW對位平臺采用2~3點支撐,由三個驅動軸組成,因為一字體排列支撐可讓平臺達到小型化并保持薄、穩之優點,空間占比更小,加上三軸XXY同時驅動可達到精準定位。 臺面尺寸:70*115~...
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客制化UVW對位平臺采用多點支撐,可依據客戶特殊需求進行方案設計,提供客戶快速快捷的解決方案。
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發布時間: 2019 - 08 - 19
特性:靜負載2000Kg絕對定位精度<10um重復定位精度±0.5um側向力20Kg<20um  可用于一次對位應用案列 :實際應用于A客戶XR系列面板貼合,并搭配軟件使...
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發布時間: 2019 - 08 - 19
特殊設計XYθ對位平臺采用X、Y、θ三軸模塊化搭配,可因應非標設計需求,可隨意搭配X、Y軸不同行程需求,達到不同功能之對位與長行程移載一體設計需求,節省設計空間與機構成本。XYθ對位平臺臺面尺寸:13...
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發布時間: 2019 - 08 - 19
直驅電機模塊化設計,可自由組合,對位精度可達0.5um,GXYR對位模塊采用無槽直線電機及盤式DDR為動力,利用交叉滾子導軌與軸環做導向,內置高分辨率光柵,實現XYθ三軸聯動。是理想的測量儀器和檢測設...
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發布時間: 2019 - 08 - 19
特性:動負載20Kg靜負載50Kg絕對定位精度<15um重復定位精度±1um臺面偏擺角度>2°應用案例:實際應用晶圓半導體的晶圓檢測設備,UVW對位與水平調整。
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發布時間: 2019 - 08 - 19
平臺簡介:該平臺以其上工作平面在空間豎直的3個自由度做運動,可以實現z方向±5mm垂直升降;工作平面可以圍繞某單軸或者2軸做傾擺,圖解:
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發布時間: 2019 - 08 - 19
特殊設計對位平臺采用功能模塊化堆積搭配,可因應非標設計需求,可隨意搭配GZ系列平臺以及TBZ系列平臺,達到不同功能之對位應用組合模塊化設計需求,節省設計空間與機構成本。GZ對位平臺臺面尺寸:220*2...
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