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氣浮平臺簡介

發布時間: 2019-08-21
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精密氣浮運動平臺特點:

非接觸/零摩擦力/滑順/直線精度/潔凈


簡介:

臺灣開發設計精密氣浮運動平臺,非接觸氣靜壓導軌,零磨耗,確保設備精度性能

實現次微米級定位、重復、水準跳動與直線精度,使用日系直線電機驅動,達到平臺運動完全零損耗。。適用于光電半導體制程、檢測設備.精密激光加工設備。


氣浮平臺簡介


規格參數:?

移動臺面尺寸:275X275 mm

標準行程:50/100/150/200/300/400/500 mm

定位精度:±0.2 ~±0.75μm重復精度:±0.1 ~±0.5μm? ? ? ? ? ? 直線精度:±0.1 ~±0.5μm

標準連續推力:93/114/140/170 N

最大速度:1 m/s

最大載重:35 kg

工作壓力:0.55 MPa

空壓需求量:<35 L/min



精密檢測、激光、光電半導體設備用,高剛性氣浮平臺

行程:0~150 mm

定位/重復精度:0.3/0.2μm

水平/垂直直線度:0.1/0.1μm

最大載重:25Kg


客制化專用氣浮運動平臺、系統

行程: 0~300 mm

定位/重復精度:? 0.3/0.2μm

水平/垂直直線度:? 0.1/0.2μm

最大載重: 45Kg


氣浮平臺簡介小型對位平臺/50mm??


氣浮平臺簡介


小型對位平臺/100mm

氣浮平臺簡介檢測設備/170mm
氣浮平臺簡介齒科設備/150mm氣浮平臺簡介精微制造系統/250mm


氣浮平臺簡介雷射切割設備/320mm


模塊型精密氣浮運動平臺(開發中型式)



客制化專用氣浮運動平臺、系統:拼接導軌技術

-工作臺面:406x406mm

-行程:500 mm

-定位/重復精度:±0.3/±0.5μm

-水準/垂直直線度:±0.5/±0.5μm

-最大載重:100Kg



臥式氣浮回轉定位軸:

-旋轉盤面:直徑90 mm

-行程:360度,連續

-回轉定位/重復精度:±2/±1 arcsec

-徑向/軸向回轉誤差:±0.2/±0.2μm

-最大載重:10Kg



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